配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管,下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料,分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直,切口表面平整,不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗,清洗前先应研磨、试压合格,然后拆成零部件,并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门,应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂,并使溶剂流经阀门各处,阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。
(5)采用普通不锈钢管时,其表面若粘附有油污,安装后清洗十分困难,应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作,必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等,应当严格禁油,并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:
1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2)铜管。在半导体企业中,个别生产工艺如GaAs的操作,为了防止产生器件电阻,不允许使用铜制管路及其附件,只能使用不锈钢材料。
不同气体配管要求
腐蚀性能较强的气体时,须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则,管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑,严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔,从而污染输配的纯净气体。
大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接,原则上全部采用焊接,要求采用的管材,在施焊时组织不发生变化。蒸汽或其他含水的气体管道在i低点设置排水管或疏水阀,某些气体管道还设有气水分离器,以便及时排去水液,防止管内产生水击和阻碍气体流动。含碳过高的材料在焊接时,受焊接部位的透气,使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度,导致我们的各项努力全部失去意义。
现在实验室常会用到各类分析仪器,这些仪器都需要使用载气和燃料气,这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。焊接联接焊接联接的强度和密封性i好,适用于各种管道,省工省料,但拆卸时必须切断管子和管子联接件。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,ICP等等,这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。
目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。
以上信息由专业从事气体减压器公司的珂锐弘扬于2024/5/8 11:56:48发布
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